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陶瓷压力传感器及差压传感器

基本信息

  • 申请号 CN00111213.9 
  • 公开号 CN1334451A 
  • 申请日 2000/07/15 
  • 公开日 2002/02/06 
  • 申请人 山东省硅酸盐研究设计院  
  • 优先权日期  
  • 发明人 李士忠 石汝军 李岩 翟鹏 孙洪方 郭益平 王成礼 郑丽娟  
  • 主分类号  
  • 申请人地址 255086山东省淄博市高新技术开发区 
  • 分类号  
  • 专利代理机构 淄博发思特专利事务所 
  • 当前专利状态 发明专利申请公布 
  • 代理人 蔡绍强 
  • 有效性 失效 
  • 法律状态 失效
  •  

摘要

一种陶瓷压力传感器及差压传感器,其基座和膜片用同种陶瓷材料制作,基座上设通气孔,基座与膜片的对应面分别设表面覆盖无机材料绝缘层的电极,基座和膜片的周边均用无机材料设置一圈凸台,凸台的对应面中间用封接玻璃层密封。
电极采用金薄膜,其引出线从基座上的金属化小孔或基座侧壁上的金属化沟槽内引出,与位于基座上的专用处理电路连接。
蠕变小,反应速度快,温度稳定性好,耐腐蚀,抗干扰和抗过载,精度高。
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