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基本信息
- 申请号 CN00111213.9
- 公开号 CN1334451A
- 申请日 2000/07/15
- 公开日 2002/02/06
- 申请人 山东省硅酸盐研究设计院
- 优先权日期
- 发明人 李士忠 石汝军 李岩 翟鹏 孙洪方 郭益平 王成礼 郑丽娟
- 主分类号
- 申请人地址 255086山东省淄博市高新技术开发区
- 分类号
- 专利代理机构 淄博发思特专利事务所
- 当前专利状态 发明专利申请公布
- 代理人 蔡绍强
- 有效性 失效
- 法律状态 失效
摘要
一种陶瓷压力传感器及差压传感器,其基座和膜片用同种陶瓷材料制作,基座上设通气孔,基座与膜片的对应面分别设表面覆盖无机材料绝缘层的电极,基座和膜片的周边均用无机材料设置一圈凸台,凸台的对应面中间用封接玻璃层密封。
电极采用金薄膜,其引出线从基座上的金属化小孔或基座侧壁上的金属化沟槽内引出,与位于基座上的专用处理电路连接。
蠕变小,反应速度快,温度稳定性好,耐腐蚀,抗干扰和抗过载,精度高。
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电极采用金薄膜,其引出线从基座上的金属化小孔或基座侧壁上的金属化沟槽内引出,与位于基座上的专用处理电路连接。
蠕变小,反应速度快,温度稳定性好,耐腐蚀,抗干扰和抗过载,精度高。
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