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一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶

基本信息

  • 申请号 CN201920039809.3 
  • 公开号 CN209854285U 
  • 申请日 2019/01/10 
  • 公开日 2019/12/27 
  • 申请人 北京凯德石英股份有限公司  
  • 优先权日期  
  • 发明人 张忠恕  
  • 主分类号 C30B31/12 
  • 申请人地址 100000 北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号 
  • 分类号 C30B31/12 
  • 专利代理机构  
  • 当前专利状态 实用新型专利授权公告 
  • 代理人  
  • 有效性 有效专利 
  • 法律状态
  •  

摘要

本实用新型涉及一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。
通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴,降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求,有效减低了成本,且整个装置安装方便,操作简捷,能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。
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权利要求书


1.一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。
2.根据权利要求1所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:所述石英管具有开口的一端具有定位端,所述定位端与扩散炉定位后,通过上法兰进行固定。
3.根据权利要求1或2所述的一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,其特征在于:所述石英管相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端,并通过下法兰进行加固。
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说明书

技术领域
本实用新型涉及石英扩散炉装置领域,具体是一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶。
背景技术
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体,在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结,在扩散过程中,保持石英舟温度的恒定对于成品的品质至关重要。
现有技术中一般通过在石英舟下方设置保温桶来保持扩散过程中温度的恒定,如中国实用新型专利CN207091559U公开了一种隔热加强的光伏硅片石英扩散炉,其保温桶由多片平行排列的石英片组成,石英片之间用石英支柱焊接连接,且石英片采用不透明石英片,达到良好的保温效果,但仍具有如下缺点:设置的多片平行石英片,其由于物理上的分离,整个保温桶热量散逸比较严重,不能很好的保持温度的恒定,而现有的具有真空隔离层的保温桶加工工艺复杂,生产过程周期较长,对真空隔离层密封性能要求严格,成本较高。
实用新型内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,以解决现有技术中存在的缺陷。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作;进一步的,所述石英管具有开口的一端具有定位端,所述定位端与扩散炉定位后,通过上法兰进行固定;进一步的,所述石英管相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端,并通过下法兰进行加固;本实用新型的有益效果是:通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴,降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求,有效减低了成本,且整个装置安装方便,操作简捷,能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;附图标记说明如下:1、定位端,2、上法兰,3、抽真空通气嘴,4、石英管,5、中间挡板,6、保温隔离层,7、下法兰,8、定位装卡端;
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
如图1所示,一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,包括石英管4及位于石英管4内部的中间挡板5,所述中间挡板5上设置有抽真空通气嘴3,所述抽真空通气嘴3相对一侧为由中间挡板5与石英管4底板之间构成的保温隔离层6,所述抽真空通气嘴3同侧的石英管4上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴3对保温隔离层6抽真空操作;更具体的,所述石英管4具有开口的一端具有定位端1,所述定位端1与扩散炉定位后,通过上法兰2进行固定;更具体的,所述石英管4相对开口的一端具有与石英舟固定的定位装卡端8,并通过下法兰7进行加固;具体工作原理:保温桶通过定位装卡端与石英舟固定,外侧通过定位端和上法兰配合固定于扩散炉上,使用时,操作人员通过开口对抽真空通气嘴进行操作,将保温隔离层抽真空,操作灵活方便,且降低了前期对保温桶抽真空工艺的要求,有效降低了成本,整个保温桶安装方便。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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