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一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶

基本信息

  • 申请号 CN201920039809.3 
  • 公开号 CN209854285U 
  • 申请日 2019/01/10 
  • 公开日 2019/12/27 
  • 申请人 北京凯德石英股份有限公司  
  • 优先权日期  
  • 发明人 张忠恕  
  • 主分类号 C30B31/12 
  • 申请人地址 100000 北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号 
  • 分类号 C30B31/12 
  • 专利代理机构  
  • 当前专利状态 实用新型专利授权公告 
  • 代理人  
  • 有效性 有效专利 
  • 法律状态
  •  

摘要

本实用新型涉及一种有效提高石英扩散炉内温度稳定性的保温桶,包括石英管及位于石英管内部的中间挡板,所述中间挡板上设置有抽真空通气嘴,所述抽真空通气嘴相对一侧为由中间挡板与石英管底板之间构成的保温隔离层,所述抽真空通气嘴同侧的石英管上设置有开口,用于操作人员通过抽真空通气嘴对保温隔离层抽真空操作。
通过设置可以随时抽真空的抽真空通气嘴,降低了保温桶生产过程中对真空保温隔离层工艺的要求,有效减低了成本,且整个装置安装方便,操作简捷,能够很好的保持石英舟加工过程中温度的恒定。
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