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一种单晶硅制备用石英加料装置

基本信息

  • 申请号 CN201920638819.9 
  • 公开号 CN209854276U 
  • 申请日 2019/05/07 
  • 公开日 2019/12/27 
  • 申请人 宁夏旭樱新能源科技有限公司  
  • 优先权日期  
  • 发明人 张建新  
  • 主分类号 C30B15/02 
  • 申请人地址 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大武口区欣盛路16号 
  • 分类号 C30B15/02;C30B29/06 
  • 专利代理机构 宁夏合天律师事务所 64103 
  • 当前专利状态 实用新型专利授权公告 
  • 代理人 周晓梅 
  • 有效性 有效专利 
  • 法律状态
  •  

摘要

本实用新型提出一种单晶硅制备用石英加料装置,包括加料筒、提拉机构,所述加料筒为上下敞口的空心筒体,所述提拉机构贯穿于加料筒内部,提拉机构包括上拉杆、下拉杆、封口件,上拉杆的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接,下端与下拉杆的上端连接,下拉杆的下端与封口件连接,所述封口件设置于加料筒的下端开口下方,封口件的外径大于加料筒的内径,还在所述下拉杆的外壁上套设防护套管,防护套管的上端置于加料筒内部,下端与封口件连接,本实用新型中,通过提拉机构的上升提起封口件,实现硅料的封堵,通过提拉机构的下降带动封口件下降,实现硅料的下料,并且通过防护套管将硅料与拉杆隔离,避免硅料被污染。
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权利要求书


1.一种单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:包括加料筒、提拉机构,所述加料筒为上下敞口的空心筒体,所述提拉机构贯穿于加料筒内部,提拉机构包括上拉杆、下拉杆、封口件,上拉杆的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接,下端与下拉杆的上端连接,下拉杆的下端与封口件连接,所述封口件设置于加料筒的下端开口下方,封口件的外径大于加料筒的内径,以将加料筒的下端开口封堵,还在所述下拉杆的外壁上套设防护套管,防护套管的上端置于加料筒内部,下端与封口件连接。
2.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述上拉杆的下端开设螺孔,下拉杆的上端设置外螺纹,还在下拉杆的外螺纹套设螺母,上拉杆与下拉杆之间螺纹连接,螺母设置于上拉杆的下方,且螺母与下拉杆的外螺纹之间螺纹连接。
3.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述封口件包括封口椎体,所述封口椎体具有倾斜侧壁,以供硅料自重向下滑落,封口椎体的底圆外径大于加料筒的下开口的内径,还在封口椎体的底部开设供下拉杆穿过的安装通孔,所述安装通孔为台阶孔,在下拉杆的下端设置锁紧螺母,锁紧螺母与下拉杆的下端头螺纹连接,还在锁紧螺母的下方设置堵头,堵头卡合在所述台阶孔内部。
4.如权利要求3所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述防护套筒的下端与封口椎体的上端对接。
5.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:在加料筒的口部设置导向保护机构,所述导向保护机构包括长垫板和短垫板,所述长垫板和短垫板分别沿着加料筒直径的方向设置于加料筒的口部,且长垫板和短垫板分别与加料筒口部固定连接,在长垫板的中间位置开设供下拉杆穿过的孔,还在防护套管的上端与长垫板之间设置柔性垫圈,所述柔性垫圈套设于下拉杆的外壁上。
6.如权利要求5所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述加料筒的上端口部外缘设置上法兰,下端口部外缘设置下法兰,所述单晶硅制备用石英加料装置还包括固定机构,所述固定机构包括若干调节杆,调节杆穿过加料筒的上法兰和下法兰,调节杆的下端设置定位法兰,定位法兰设置于下法兰的下方。
7.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述加料筒为石英筒体。
8.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述防护套管为石英套管。
9.如权利要求1所述的单晶硅制备用石英加料装置,其特征在于:所述封口件为石英椎体。
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说明书

技术领域
本实用新型涉及单晶硅制备技术领域,尤其涉及一种单晶硅制备用石英加料装置。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。
单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
现有的加料装置存在硅料与拉杆接触而污染硅料的问题。
发明内容
有必要提出一种单晶硅制备用石英加料装置。
一种单晶硅制备用石英加料装置,包括加料筒、提拉机构,所述加料筒为上下敞口的空心筒体,所述提拉机构贯穿于加料筒内部,提拉机构包括上拉杆、下拉杆、封口件,上拉杆的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接,下端与下拉杆的上端连接,下拉杆的下端与封口件连接,所述封口件设置于加料筒的下端开口下方,封口件的外径大于加料筒的内径,以将加料筒的下端开口封堵,还在所述下拉杆的外壁上套设防护套管,防护套管的上端置于加料筒内部,下端与封口件连接。
优选的,所述上拉杆的下端开设螺孔,下拉杆的上端设置外螺纹,还在下拉杆的外螺纹套设螺母,上拉杆与下拉杆之间螺纹连接,螺母设置于上拉杆的下方,且螺母与下拉杆的外螺纹之间螺纹连接。
优选的,所述封口件包括封口椎体,所述封口椎体具有倾斜侧壁,以供硅料自重向下滑落,封口椎体的底圆外径大于加料筒的下开口的内径,还在封口椎体的底部开设供下拉杆穿过的安装通孔,所述安装通孔为台阶孔,在下拉杆的下端设置锁紧螺母,锁紧螺母与下拉杆的下端头螺纹连接,还在锁紧螺母的下方设置堵头,堵头卡合在所述台阶孔内部。
优选的,所述防护套筒的下端与封口椎体的上端对接。
优选的,在加料筒的口部设置导向保护机构,所述导向保护机构包括长垫板和短垫板,所述长垫板和短垫板分别沿着加料筒直径的方向设置于加料筒的口部,且长垫板和短垫板分别与加料筒口部固定连接,在长垫板的中间位置开设供下拉杆穿过的孔,还在防护套管的上端与长垫板之间设置柔性垫圈,所述柔性垫圈套设于下拉杆的外壁上。
优选的,所述加料筒的上端口部外缘设置上法兰,下端口部外缘设置下法兰,所述单晶硅制备用石英加料装置还包括固定机构,所述固定机构包括若干调节杆,调节杆穿过加料筒的上法兰和下法兰,调节杆的下端设置定位法兰,定位法兰设置于下法兰的下方。
优选的,所述加料筒为石英筒体。
优选的,所述防护套管为石英套管。
优选的,所述封口件为石英椎体。
本实用新型中,通过提拉机构的上升提起封口件,实现硅料的封堵,通过提拉机构的下降带动封口件下降,实现硅料的下料,并且通过防护套管将硅料与拉杆隔离,避免硅料被污染。
附图说明
图1为单晶硅制备用石英加料装置的结构示意图。
图2为单晶硅制备用石英加料装置的俯视图。
图3为单晶硅制备用石英加料装置的内部结构图。
图4为显示上拉杆和下拉杆连接方式的局部放大图。
图5为显示上法兰的局部放大图。
图6为显示定位法兰的局部放大图。
图7为显示封口件的局部放大图。
图中:加料筒11、上法兰111、下法兰112、上拉杆21、下拉杆22、封口件23、封口椎体231、锁紧螺母232、堵头233、防护套管24、长垫板31、柔性垫圈311、短垫板32、调节杆41、定位法兰42。
具体实施方式
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
参见图1至图7,本实用新型实施例提供了一种单晶硅制备用石英加料装置,包括加料筒11、提拉机构,所述加料筒11为上下敞口的空心筒体,所述提拉机构贯穿于加料筒11内部,提拉机构包括上拉杆21、下拉杆22、封口件23,上拉杆21的上端用于与外部提拉装置上的籽晶绳套连接,下端与下拉杆22的上端连接,下拉杆22的下端与封口件23连接,所述封口件23设置于加料筒11的下端开口下方,封口件23的外径大于加料筒11的内径,以将加料筒11的下端开口封堵,还在所述下拉杆22的外壁上套设防护套管24,防护套管24的上端置于加料筒11内部,下端与封口件23连接。
本实用新型中,硅料放置在加料筒11内部,且硅料不可避免的与筒体内壁接触,与下拉杆22接触,为了避免硅料被下拉杆22污染,所以设置了防护套管24,以将硅料与下拉杆22隔离,避免污染。
进一步,所述上拉杆21的下端开设螺孔,下拉杆22的上端设置外螺纹,还在下拉杆22的外螺纹套设螺母,上拉杆21与下拉杆22之间螺纹连接,螺母设置于上拉杆21的下方,且螺母与下拉杆22的外螺纹之间螺纹连接。
以使上拉杆21和下拉杆22之间可限位的拆卸连接。
进一步,所述封口件23包括封口椎体231,所述封口椎体231具有倾斜侧壁,以供硅料自重向下滑落,封口椎体231的底圆外径大于加料筒11的下开口的内径,还在封口椎体231的底部开设供下拉杆22穿过的安装通孔,所述安装通孔为台阶孔,在下拉杆22的下端设置锁紧螺母232,锁紧螺母232与下拉杆22的下端头螺纹连接,还在锁紧螺母232的下方设置堵头233,堵头233卡合在所述台阶孔内部。
进一步,所述防护套筒的下端与封口椎体231的上端对接。
进一步,在加料筒11的口部设置导向保护机构,所述导向保护机构包括长垫板31和短垫板32,所述长垫板31和短垫板32分别沿着加料筒11直径的方向设置于加料筒11的口部,且长垫板31和短垫板32分别与加料筒11口部固定连接,在长垫板31的中间位置开设供下拉杆22穿过的孔,还在防护套管24的上端与长垫板31之间设置柔性垫圈311,所述柔性垫圈311套设于下拉杆22的外壁上。
长垫板31的设置,不仅形成上拉杆21上下移动的导向装置,而且设置于加料筒11的口部,形成对加料筒11的保护,避免加入硅料时砸坏加料筒11的口部。
进一步,所述加料筒11的上端口部外缘设置上法兰111,下端口部外缘设置下法兰112,所述单晶硅制备用石英加料装置还包括固定机构,所述固定机构包括若干调节杆41,调节杆41穿过加料筒11的上法兰111和下法兰112,调节杆41的下端设置定位法兰42,定位法兰42设置于下法兰112的下方,以将调节杆41下端固定于下法兰112的下端。
固定机构的调节杆41提升,则带动加料筒11向上调节,使得加料筒11远离坩埚内部的硅液的液面;调节杆41下压,则带动加料筒11向下调节,使得加料筒11靠近坩埚内部的硅液的液面。
通过外部设置限位法兰,以与调节法兰配合,形成对加料筒11的最低位置的限位,避免加料筒11的位置太靠近液面的位置。
进一步,所述加料筒11为石英筒体。
进一步,所述防护套管24为石英套管。
进一步,所述封口件23为石英椎体。
本实用新型实施例装置中的模块或单元可以根据实际需要进行合并、划分和删减。
以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。
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