八月瓜首页 > 专利查询 > H01基本电气元件 >正文

晶圆偏转装置和晶圆处理装备

基本信息

  • 申请号 CN202010660034.9 
  • 公开号 CN111540704A 
  • 申请日 2020/07/10 
  • 公开日 2020/08/14 
  • 申请人 清华大学 华海清科股份有限公司  
  • 优先权日期  
  • 发明人 李长坤 赵德文 路新春  
  • 主分类号 H01L21/677 
  • 申请人地址 100084 北京市海淀区清华园1号 
  • 分类号 H01L21/677;H01L21/67 
  • 专利代理机构  
  • 当前专利状态 发明专利申请公布 
  • 代理人  
  • 有效性 审查中-实审 
  • 法律状态 审查中-实审
  •  

摘要

本申请公开了一种晶圆偏转装置,包括晶圆托架和驱动晶圆托架在第一定向和第二定向之间摆动的驱动机构,其控制晶圆托架以符合预定的角速度‑时间曲线的方式从第一定向摆动到第二定向,角速度‑时间曲线包括至少一个加速段和至少一个减速段,驱动机构包括摆动轴和驱动摆动轴旋转的电机组件,晶圆托架与摆动轴连接以随摆动轴摆动,晶圆托架包括弓形托臂,弓形托臂的轮廓为90展开

查看更多专利详情信息请先登录或注册会员

相关专利类别推荐

获取手机验证码,即可注册成为会员

专利详情咨询

咨询内容

姓名

手机

验证码

用户登录

手机号

手机验证码

提示

不能再减了!!!

提交成功

八月瓜客服中心已经收到您的信息,正在为您派遣知识产权顾问。知识产权顾问会携带贴心的服务以闪电搬的速度与您联系。

扫一扫关注八月瓜微信 创业一手掌握